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产品分类:INFICON真空计压力计
优点: ■测量范围广:5 X 10 -7~1 Pa ■全金属冷阴极陶瓷传感器 ■新型几何电极提供了极好的点火性能 ■降低等离子点火高电压和钛阴极板污染的危险,即使在氩溅射过程中也一样 ■阳极环和钛阴极可清洗,更换容易 ■最小磁场强度测量 ■ LED指示灯电源和等离子点火 ■对数模拟输出信号 ■ Fieldbus总线接口(Profibus DB, DeviceNet),集成到真空系统的网络通信
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